Korkean puhtauden kupariväylän sputterointikohteet (4N-6N)
Video
Korkean puhtauden kuparikiskon sputterointikohde – prosessi- ja laadunvarmistuslausunto
Kuparikiskomaalaukset on kehitetty erityisesti laaja-alaiseen ja -tilavuuksiseen fysikaaliseen höyrypinnoitusmenetelmään, jossa tasainen pinnoite pitkillä pituuksilla on ratkaisevan tärkeää.
Keskeiset prosessin ominaisuudet
Valmistuksessa käytetään edistyneitä metallurgisia ja koneistustekniikoita tasaisen suorituskyvyn takaamiseksi:
●Lähtöaine: Pohjana toimivat korkealaatuiset, erittäin puhtaat elektrolyyttiset kuparikatodit.
●Tyhjiöravinto: Useat tyhjösulatusvaiheet poistavat kaasumaiset ja metalliset epäpuhtaudet 4N-6N-tasojen saavuttamiseksi.
● Jatkuva valu: Hallittu kuumapursotus tai jatkuva valu tuottaa pitkiä, tiheitä aihioita, joilla on homogeeninen rakenne.
●Kuumatyöstö: Taonta ja valssaus hienosäätävät raekokoa ja saavuttavat lähes täyden teoreettisen tiheyden.
●Tarkkuusleikkaus ja -koneistus: CNC-sahaus ja -jyrsintä luovat tarkkoja suorakulmaisia mittoja ja yhdensuuntaisia pintoja.
●Pinnan esikäsittely: Monivaiheinen hionta ja kiillotus tuottavat puhtaat, virheettömät sputterointipinnat.
●Liimausvaihtoehdot: Saatavilla matalan lämpötilan indium- tai elastomeeriliimauksella ruostumattomasta teräksestä tai molybdeenistä valmistettuihin taustalevyihin.
●Puhdastilapakkaus: Lopullinen ultraäänipuhdistus ja kaksoispussillinen tyhjiöpakkaus takaavat kontaminaatiottoman toimituksen.
Laadunvalvontajärjestelmä
● Täydellinen jäljitettävyys katodilähteestä valmiiseen kiskokohteeseen
● Täydellinen materiaalisertifiointi ja testiraportit toimitetaan jokaisen yksikön mukana
● Arkistonäytteet säilytetään vähintään 3 vuotta riippumatonta tarkastusta varten (SGS, BV jne.)
● Olennaisten parametrien 100 %:n tarkastus:
• Puhtauden varmistus (GDMS/ICP-analyysi; happi tyypillisesti <5 ppm)
• Tiheysmittaus (≥99,5 % teoreettinen)
• Rakerakenteen arviointi (metallografia)
• Mittatarkkuus (CMM; yhdensuuntaisuus ≤0,1 mm tyypillinen)
• Pinnan laatu ja karheus (profilometri + puhdastilan tarkastus)
● Sisäiset ominaisuudet ylittävät ASTM F68 -standardit. Tyypilliset ominaisuudet: Lämmönjohtavuus >395 W/m·K, Tasainen valokaaren ulkopuolinen sputterointikäyttäytyminen, Korkea laskeutumisnopeus magnetronijärjestelmissä.











