Erittäin puhtaat kuparisputterointikohteet – neliönmuotoiset (4N-6N)
Korkean puhtauden kuparin sputterointikohde – prosessi- ja laadunvarmistuslausunto
Neliönmuotoiset kupariruiskutuskohteemme valmistetaan vaativien standardien mukaisesti, joita vaaditaan luotettavaan ohutkalvopinnoitukseen edistyneissä pinnoitusprosesseissa.
Tuotanto noudattaa tarkasti kontrolloitua tyhjiöön perustuvaa työnkulkua erittäin korkean puhtauden ja materiaalin tasaisuuden ylläpitämiseksi:
●Raaka-aineen valinta: Lähtöaineena käytetään vain sertifioituja elektrolyyttisiä kuparikatodeja (≥99,99 %).
●Tyhjiösulatus: Induktiosulatus korkeassa tyhjiössä tai inertissä ilmakehässä minimoi hapenottokyvyn ja haihtuvat epäpuhtaudet.
●Valaminen ja jalostus: Hallittu suunnattu jähmettäminen tuottaa harkkoja, joilla on homogeeninen koostumus ja minimaalinen erottuminen.
●Kuumamuokkaus: Takomalla tai kuumapuristamalla saavutetaan lähes teoreettinen tiheys ja hienostunut raerakenne.
●Tarkkuuskoneistus: CNC-jyrsintä ja -hionta tuottavat tarkat neliömäiset mitat ja tasaiset, yhdensuuntaiset pinnat.
●Pinnan viimeistely: Monivaiheinen kiillotus tuottaa peilimäisen pinnan, joka sopii puhdastilakäyttöön.
●Valinnainen liimaus: Indium- tai elastomeeriliimaus molybdeeni/kupari-taustalevyihin saatavilla lämmönhallintaa varten.
●Loppupuhdistus ja pakkaus: Ultraäänipuhdistus erittäin puhtaassa vedessä, minkä jälkeen tyhjiöpakkaus kaksikerroksisiin puhtaisiin pusseihin.
Laadunvalvontajärjestelmä
● Täydellinen jäljitettävyys raakakatodierästä valmiiseen kohteeseen
● Materiaalisertifikaatit ja testiraportit toimitetaan jokaisen lähetyksen mukana
● Arkistonäytteiden säilytys ≥3 vuotta kolmannen osapuolen (SGS, BV jne.) varmennusta varten
● Kriittisten parametrien 100 %:n tarkastus:
• Puhtaus ja epäpuhtaudet (GDMS/ICP-MS-analyysi; tyypillinen happipitoisuus <10 ppm)
• Tiheysmittaus (Arkhimedeen menetelmä; ≥99,5 %)
• Rakekoko ja mikrorakenne (metallografinen tutkimus)
• Mittatarkkuus (CMM; tasaisuus ≤0,05 mm tyypillinen)
• Pinnan karheus ja viat (profilometri + silmämääräinen tarkastus)
● Sisäiset ominaisuudet ylittävät ASTM F68 -vaatimukset. Tyypilliset ominaisuudet: Lämmönjohtavuus >390 W/m·K, sähköresistiivisyys <1,7 μΩ·cm, tasainen sputterointinopeus ja kalvonlaatu.
● Puhdastilayhteensopivat prosessit ja ISO 9001:2015 -sertifioitu laitos varmistavat, että jokainen kohde täyttää nykyaikaisten PVD-sovellusten vaativat vaatimukset.










